光催化廢氣處理主要是利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射來裂解排放的廢氣，使工業廢氣的分子鏈結構在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，再通過臭氧進行氧化反應，排放CO2、H20等，徹底達到脫臭及殺滅細菌的目的。
光催化廢氣處理設備可以處理含有氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯等工業廢氣。
工業廢氣采用光催化廢氣處理設備的優勢有：
1、設備的氧化性強：設備對臭氧難以氧化的某些有機物如三氯甲烷、四氯化炭、六氯苯、都能有效地加以分解，可以處理難以降解的有機物。
2、適用性強：設備適合在常溫下將有機廢臭氣體完全氧化成無毒無害的物質，廢氣處理環保設備適合處理高濃度、氣量大、穩定性強的有毒有害氣體。
3、無二次污染：設備可直接將空氣中的有機廢臭氣體完全氧化最后生成無毒無害的物質且不會受到二次污染。
4、使用壽命：設備在安裝之后，定期檢查設備的時候壽命可長達20年。
適用范圍廣：如對于含有鹵代烴、染料、含氮有機物、有機磷殺蟲劑等廢氣有很好的去除效果。
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